漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳离子交换树脂案例 5:超纯水系统更换与无尘处置案例
漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳离子交换树脂 案例 5 :超纯水系统更换与无尘处置案例 漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳树脂在超纯水工况使用寿命 1.5-3 年,当出水 TOC > 1ppb 、电阻率< 18.0MΩ ・ cm 时需更换。更换在超净车间进行,排空超纯水后用氮气吹扫抛光床,无尘工具取出旧树脂;新树脂装填后用超纯水循环冲洗 3 小时,直至出水 TOC < 0.5ppb 。某面板厂更换漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳离子交换树脂后,终端出水 TOC 稳定< 0.8ppb ,满足半导体生产需求。