漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳离子交换树脂案例 5:超纯水系统更换与无尘处置案例
漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳离子交换树脂案例 5:超纯水系统更换与无尘处置案例
漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳树脂在超纯水工况使用寿命 1.5-3 年,当出水 TOC>1ppb、电阻率<18.0MΩ・cm 时需更换。更换在超净车间进行,排空超纯水后用氮气吹扫抛光床,无尘工具取出旧树脂;新树脂装填后用超纯水循环冲洗 3 小时,直至出水 TOC<0.5ppb。某面板厂更换漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳离子交换树脂后,终端出水 TOC 稳定<0.8ppb,满足半导体生产需求。
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